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Three omega薄膜熱傳導係數量測系統

霍爾效應量測系統

四點探針量測系統

循環式烘箱

RF/DC雙靶濺鍍機(sputter)

鑽石切割機

高溫退火爐 ( x 2)

機械研磨拋光機

氮氣產生系統

電化學測試系統

半導體電性參數量測系統

光學顯微鏡(400倍)

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