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Thermo-Electric
Energy Management
Three omega薄膜熱傳導係數量測系統
霍爾效應量測系統
四點探針量測系統
循環式烘箱
RF/DC雙靶濺鍍機(sputter)
鑽石切割機
高溫退火爐 ( x 2)
機械研磨拋光機
氮氣產生系統
電化學測試系統
半導體電性參數量測系統
光學顯微鏡(400倍)
探針平台( x 2)
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